Решения
Наведите на иконку для детальной информации

Рампы в шкафном исполнении

Полуавтоматические рампы

Сетевые регуляторы давления

При минимальном перепаде давления обеспечивается большой поток газа, за счет правильного подобранного Cv регулятора.
Шкафы автоматизированные UHP

Контроллер с LCD дисплеем помогает осуществлять управление пневматическими клапанами в конструкции панелей.
Шкафы изготавливаются по стандарту SEMI и могут быть изготовлены исходя из схемы и функционала который необходим Заказчику.
Боксы газовые VMB

Газовые боксы VMB могут быть настенного монтажа и с металлическим каркасом для установки на пол.
Состав и компоновка VMB определяется согласно рабочей схемы Заказчика.
Полуавтоматические двухступенчатые рампы

Рампы с ручным управлением

Рампы в шкафном исполнении

Точки доступа UHP

Точка доступа используется в качестве 2-й ступени регулировки и контроля газа. Возможно дополнительная установка MFC, MFM.
Точки доступа HP

Точка доступа HP

Точки доступа лабораторные HP

Монтаж лабораторных точек доступа может быть настенный, скрытый и настольный.
Баллонные регуляторы давления
