Шкаф газобаллонный автоматизированный GENTEC серии SGC для чистых и полупроводниковых газов.
Шкаф газобаллонный автоматизированный GENTEC серии SGC для чистых и полупроводниковых газов.
Шкаф газобаллонный серии SGC (ШГБ) предназначен для использования с газами высокой чистоты и сверхчистыми газами (UHP) 99,99 -99,99999. Конструкция ШГБ предусматривает наличие шкафа с контроллером управления и панели регулировки давления VMP. Конструкция шкафа может меняться в зависимости от технического задания заказчика.
Преимущества:
- VCR соединение в конструкции рампы
- Контроллер с автоматическим переключением баллонов
- Автоматизированный тип продувки газа при помощи LCD дисплея
- Удаленный мониторинг состояния системы (RS485, Ethernet)
- Дополнительный удаленный мониторинг при помощи мобильного приложения и SMS
- Соединения при помощи орбитальной сварки
- Шероховатость поверхности 10 Ra и выше
- Производство и сборка по стандарту SEMI S2 по безопасности оборудования для производства полупроводников
- Сборка шкафа в помещении класса 100
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L/Hastelloy
- Коэффициент утечки: 1×10-9 atm.cc/sec He
- Присоединение: VCR
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)