Рампа разрядная SGR для чистых и полупроводниковых газов
Рампа разрядная SGR для чистых и полупроводниковых газов
Рампа газобаллонная GENTEC серии SGR (РГБ) предназначена для использования с газами высокой чистоты и сверхчистыми газами (UHP) 99,99 -99,99999. Конструкция рампы предусматривает наличие газобаллонной стойки с контроллером и панели регулировки давления VMP.
Преимущества:
- VCR соединение в конструкции рампы
- Контроллер с автоматическим переключением баллонов
- Удаленный мониторинг состояния системы (RS485, Ethernet)
- Дополнительный удаленный мониторинг при помощи мобильного приложения и SMS
- Соединения при помощи орбитальной сварки
- Шероховатость поверхности 10 Ra и выше
- Производство и сборка по стандарту SEMI S2 по безопасности оборудования для производства полупроводников
- Сборка рампы в помещении класса 100
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L/Hastelloy
- Коэффициент утечки: 1×10-9 atm.cc/sec He
- Присоединение: VCR
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)