Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U11
Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U11
Регулятор давления GENTEC серии U11 предназначен для использования с полупроводниковыми газами, а так же коррозионными газами и поверочными газовыми смесями (ПГС). Конструкция мембранного редуктора U11 предусматривает уплотнение металл по металлу и полную внутреннюю полировку частей регулятора. Регулятор для ультрачистых газов (UHP) U11 производится по стандарту SEMI (semiconductor industry). Тип регулятора Tied Diaphragm позволяет избегать натекания газа при образовании загрязнений на седле клапана.
Преимущества:
- Уплотнение металл по металлу
- Материал корпуса Нержавеющая сталь 316L VAR (двойная переплавка)
- Класс помещения сборки 100
- Порт отвода отработанных газов при натекании или разгерметизации корпуса
- Регулятор Tied Diaphragm
- Опция шероховатость поверхности Ra 7 μin (0,18 μn), Ra 5 μin (0,13 μn)
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L / Нержавеющая сталь 316L VAR
- Максимальное давление на входе: 35, 207, 310 бар
- Давление на выходе: 0-1,7, 0-3,5, 0-5,2, 0-7, 0-10, 0-17, 0-35 бар
- Мембрана: Hastelloy C22
- Уплотнение: PCTFE, Vespel
- Cv 0,09, 0,15
- Температура эксплуатации: -40С +74С
- Коэффициент утечки по корпусу: 1×10-9 atm/sec He
- Коэффициент утечки по седлу: 4×10-8 atm/sec He
- Присоединение: VCR
- Шероховатость поверхности: Ra 15 μin (0,4 μn). Ra 10 μin (0,25 μn), Ra 7 μin (0,18 μn), Ra 5 μin (0,13 μn)
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)