Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U21
Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U21
Регулятор давления GENTEC серии U21 предназначен для использования с полупроводниковыми газами, а так же коррозионными газами и поверочными газовыми смесями (ПГС). Конструкция мембранного редуктора U21 предусматривает уплотнение металл по металлу и полную внутреннюю полировку частей регулятора. Регулятор для ультрачистых газов (UHP) U21 производится по стандарту SEMI (semiconductor industry).
Преимущества:
- Уплотнение металл по металлу
- Материал корпуса нержавеющая сталь 316L
- Класс помещения сборки 100
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L
- Максимальное давление на входе: 35, 207 бар
- Давление на выходе: 0-1,7, 0-3,5, 0-5,2, 0-7, 0-17, 0-35 бар
- Мембрана: Нержавеющая сталь 316L / Hastelloy C22
- Уплотнение: PCTFE, Vespel
- Cv 0,14
- Температура эксплуатации: -40С +74С
- Коэффициент утечки по корпусу: 2×10-9 atm/sec He
- Коэффициент утечки по седлу: 4×10-8 atm/sec He
- Присоединение: VCR
- Шероховатость поверхности: Ra 20 μin (0,5 μn). Ra 10 μin (0,25 μn)
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)