Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U23

Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U23

Регулятор давления GENTEC серии U23 предназначен для использования с полупроводниковыми газами, а так же коррозионными газами и поверочными газовыми смесями (ПГС). Конструкция мембранного редуктора U23 предусматривает уплотнение металл по металлу и полную внутреннюю полировку частей регулятора. Регулятор для ультрачистых газов (UHP) U23 производится по стандарту SEMI (semiconductor industry). Регулятор U23 идеально подходит для продувки систем, где параметр интенсивности потока является важным значением.

Преимущества:

  • Уплотнение металл по металлу
  • Материал корпуса нержавеющая сталь 316L
  • Класс помещения сборки 100

Характеристики:

  • Материал: Нержавеющая сталь 316L
  • Максимальное давление на входе: 35, 207 бар
  • Давление на выходе: 0-1,7, 0-3,5, 0-5,2, 0-7, 0-10 бар
  • Мембрана: Нержавеющая сталь 316L / Hastelloy C22
  • Уплотнение: PCTFE, Vespel
  • Cv 1,8
  • Температура эксплуатации: -40С +74С
  • Коэффициент утечки по корпусу: 2×10-9 atm/sec He
  • Коэффициент утечки по седлу: 4×10-8 atm/sec He
  • Присоединение: VCR
  • Шероховатость поверхности: Ra 20 μin (0,5 μn). Ra 10 μin (0,25 μn)
  • Чистота газа: до 7.0. (99,99999)
 

Скачать документацию U23 (PDF)