Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U41

Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U41

Регулятор давления GENTEC серии U41 предназначен для использования с полупроводниковыми газами, а так же коррозионными газами и поверочными газовыми смесями (ПГС). Конструкция поршневого редуктора U41 предусматривает уплотнение металл по металлу и полную внутреннюю полировку частей регулятора. Регулятор для ультрачистых газов (UHP) U41 производится по стандарту SEMI (semiconductor industry).

Преимущества:

  • Уплотнение металл по металлу
  • Класс помещения сборки 100
  • Опция шероховатость поверхности Ra 7 μin (0,18 μn), Ra 5 μin (0,13 μn)
  • Широкий диапазон регулировки давления 0-103 бар

Характеристики:

  • Материал: Нержавеющая сталь 316L
  • Максимальное давление на входе: 207 бар
  • Давление на выходе: 0-35, 0-103 бар
  • Поршень: Нержавеющая сталь 316L
  • Уплотнение: PCTFE, Vespel
  • Cv 0,14
  • Температура эксплуатации: -40С +74С
  • Коэффициент утечки по корпусу: 1×10-9 atm/sec He
  • Коэффициент утечки по седлу: 4×10-8 atm/sec He
  • Присоединение: VCR
  • Шероховатость поверхности: Ra 15 μin (0,4 μn). Ra 10 μin (0,25 μn), Ra 7 μin (0,18 μn), Ra 5 μin (0,13 μn)
  • Чистота газа: до 7.0. (99,99999)
 

Скачать документацию U41 (PDF)