Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U53
Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U53
Регулятор давления GENTEC серии U53 предназначен для использования с полупроводниковыми газами, а так же коррозионными газами и поверочными газовыми смесями (ПГС). Конструкция мембранного редуктора U53 предусматривает уплотнение металл по металлу и полную внутреннюю полировку частей регулятора. Регулятор для ультрачистых газов (UHP) U53 производится по стандарту SEMI (semiconductor industry). Регулятор U53 обладает идеальной точностью благодаря внутренней конструкции, что обеспечивает минимальную мертвую зону при регулировки.
Преимущества:
- Уплотнение металл по металлу
- Материал корпуса нержавеющая сталь 316L
- Класс помещения сборки 100
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L
- Максимальное давление на входе: 20 бар
- Давление на выходе: 0-2 бар
- Мембрана: Elgiloy / Hastelloy C22
- Уплотнение: PCTFE
- Cv 0,054
- Температура эксплуатации: -18С +60С
- Коэффициент утечки по корпусу: 0,5×10-8 atm/sec He
- Коэффициент утечки по седлу: 1×10-8 atm/sec He
- Присоединение: VCR
- Шероховатость поверхности: Ra 10 μin (0,25 μn)
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)