Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U61
Регулятор давления для сверхчистых газов UHP серии U61
Регулятор давления GENTEC серии U61 предназначен для использования с полупроводниковыми газами, а так же коррозионными газами и поверочными газовыми смесями (ПГС). Конструкция мембранного редуктора U61 предусматривает уплотнение металл по металлу и полную внутреннюю полировку частей регулятора. Регулятор для ультрачистых газов (UHP) U61 производится по стандарту SEMI (semiconductor industry). Тип регулятора Tied Diaphragm позволяет избегать натекания газа при образовании загрязнений на седле клапана.
Преимущества:
- Уплотнение металл по металлу
- Класс помещения сборки 100
- Регулятор Tied Diaphragm
- Опция шероховатость поверхности Ra 7 μin (0,18 μn), Ra 5 μin (0,13 μn)
- Высокая пропускная способность Cv 3,0 Cv 4,0
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L
- Максимальное давление на входе: 35, 103, 152, 207 бар
- Давление на выходе: 0-1,7, 0-3,5, 0-5,2, 0-7, 0-10, 0-17 бар
- Мембрана: Hastelloy C22
- Уплотнение: PCTFE, Vespel
- Cv 3,0 Cv 4,0
- Температура эксплуатации: -40С +74С
- Коэффициент утечки по корпусу: 1×10-9 atm/sec He
- Коэффициент утечки по седлу: 4×10-8 atm/sec He
- Присоединение: VCR
- Шероховатость поверхности: Ra 15 μin (0,4 μn). Ra 10 μin (0,25 μn), Ra 7 μin (0,18 μn), Ra 5 μin (0,13 μn)
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)