Газовая панель VMP для сверхчистых газов UHP серии PU

Газовая панель VMP для сверхчистых газов UHP серии PU

Щит газовый регулирующий VMP, VMB серии PU предназначен для использования с газами высокой чистоты и сверхчистыми газами (UHP) 99,99 -99,99999. Конструкция точки доступа VMP, VMB серии РU предусматривает наличие запорных мембранных и пневматических клапанов, для обеспечения перекрытия газового потока, регулировки и индикации давления. Точка доступа (Gas Stick) серии PU устанавливается в качестве второй ступени регулировки и индикации давления и может иметь различные конфигурации исполнения. Газовые панели для ультрачистых газов (UHP) серии PU производится по стандарту SEMI (semiconductor industry).

Преимущества:

  • Мембранные клапаны с индикатором положения закрыто/открыто
  • Расположение в настенном шкафу с вытяжным патрубком конфигурация VMB (газовый бокс UHP)
  • Опция установки пурификатора, датчика давления, фильтра, пневматического клапана
  • Производство и сборка по стандарту SEMI S2 по безопасности оборудования для производства полупроводников
  • Сборка в помещении класса 100
  • Регуляторы в составе панелей UHP (Ultra High Purity) с типом Tied Diaphragm серий U11, U12, U13

Характеристики:

  • Материал: Нержавеющая сталь 316L / Нержавеющая сталь 316L VAR
  • Максимальное давление на входе: 10, 17, 35 бар
  • Давление на выходе: 0-3,5, 0-5, 0-7, 0-10 бар
  • Уплотнение: PCTFE, Vespel
  • Cv 0,09, 0,14, 0,15, 0,9 1,1
  • Температура эксплуатации -40С +74С
  • Коэффициент утечки по корпусу: 1×10-9 atm/sec He
  • Коэффициент утечки по седлу: 4×10-8 atm/sec He
  • Присоединение: VCR
  • Шероховатость поверхности: Ra 15 μin (0,4 μn). Ra 10 μin (0,25 μn), Ra 7 μin (0,18 μn), Ra 5 μin (0,13 μn)
  • Чистота газа: до 7.0. (99,99999)
 

Скачать документацию PU (PDF)


    СОГЛАШЕНИЕ ОБ ОБРАБОТКЕ ПЕРСОНАЛЬНЫХ ДАННЫХ
    В ЦЕЛЯХ СОБЛЮДЕНИЯ 152-ФЗ
    "О ЗАЩИТЕ ПЕРСОНАЛЬНЫХ ДАННЫХ"

    Присоединяясь к настоящему Соглашению и оставляя свои данные на Сайте название_сайта (далее – Сайт), путем заполнения полей форм обратной связи Пользователь:

    • подтверждает, что все указанные им данные принадлежат лично ему,
    • подтверждает и признает, что им внимательно в полном объеме прочитано Соглашение и условия обработки его персональных данных, указываемых им в полях форм обратной связи, текст соглашения и условия обработки персональных данных ему понятны;
    • дает согласие на обработку Сайтом предоставляемых в составе информации персональных данных в целях заключения между ним и Сайтом настоящего Соглашения, а также его последующего исполнения;
    • выражает согласие с условиями обработки персональных данных без оговорок и ограничений.

    Пользователь дает свое согласие на обработку его персональных данных, а именно совершение действий, предусмотренных п. 3 ч. 1 ст. 3 Федерального закона от 27.07.2006 N 152-ФЗ «О персональных данных», и подтверждает, что, давая такое согласие, он действует свободно, своей волей и в своем интересе. Согласие Пользователя на обработку персональных данных является конкретным, информированным и сознательным.

    Настоящее согласие Пользователя признается исполненным в простой письменной форме, на обработку следующих персональных данных: фамилии, имени, отчества; года рождения; места пребывания (город, область); номеров телефонов; адресов электронной почты (E-mail).

    Пользователь, предоставляет название_сайта право осуществлять следующие действия (операции) с персональными данными: сбор и накопление; хранение в течение установленных нормативными документами сроков хранения отчетности, но не менее трех лет, с момента даты прекращения пользования услуг Пользователем; уточнение (обновление, изменение); использование; уничтожение; обезличивание; передача по требованию суда, в т.ч., третьим лицам, с соблюдением мер, обеспечивающих защиту персональных данных от несанкционированного доступа.

    Указанное согласие действует бессрочно с момента предоставления данных и может быть отозвано Вами путем подачи заявления администрации сайта с указанием данных, определенных ст. 14 Закона «О персональных данных». Отзыв согласия на обработку персональных данных может быть осуществлен путем направления Пользователем соответствующего распоряжения в простой письменной форме на адрес контактной электронной почты указанной на сайте название_сайта.

    Сайт не несет ответственности за использование (как правомерное, так и неправомерное) третьими лицами Информации, размещенной Пользователем на Сайте, включая её воспроизведение и распространение, осуществленные всеми возможными способами. Сайт имеет право вносить изменения в настоящее Соглашение. При внесении изменений в актуальной редакции указывается дата последнего обновления. Новая редакция Соглашения вступает в силу с момента ее размещения, если иное не предусмотрено новой редакцией Соглашения. Ссылка на действующую редакцию всегда находится на страницах сайта: название_сайта.ru

    К настоящему Соглашению и отношениям между пользователем и Сайтом, возникающим в связи с применением Соглашения подлежит применению право Российской Федерации.»