Газовая панель VMP для сверхчистых газов UHP серии PU
Газовая панель VMP для сверхчистых газов UHP серии PU
Щит газовый регулирующий VMP, VMB серии PU предназначен для использования с газами высокой чистоты и сверхчистыми газами (UHP) 99,99 -99,99999. Конструкция точки доступа VMP, VMB серии РU предусматривает наличие запорных мембранных и пневматических клапанов, для обеспечения перекрытия газового потока, регулировки и индикации давления. Точка доступа (Gas Stick) серии PU устанавливается в качестве второй ступени регулировки и индикации давления и может иметь различные конфигурации исполнения. Газовые панели для ультрачистых газов (UHP) серии PU производится по стандарту SEMI (semiconductor industry).
Преимущества:
- Мембранные клапаны с индикатором положения закрыто/открыто
- Расположение в настенном шкафу с вытяжным патрубком конфигурация VMB (газовый бокс UHP)
- Опция установки пурификатора, датчика давления, фильтра, пневматического клапана
- Производство и сборка по стандарту SEMI S2 по безопасности оборудования для производства полупроводников
- Сборка в помещении класса 100
- Регуляторы в составе панелей UHP (Ultra High Purity) с типом Tied Diaphragm серий U11, U12, U13
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L / Нержавеющая сталь 316L VAR
- Максимальное давление на входе: 10, 17, 35 бар
- Давление на выходе: 0-3,5, 0-5, 0-7, 0-10 бар
- Уплотнение: PCTFE, Vespel
- Cv 0,09, 0,14, 0,15, 0,9 1,1
- Температура эксплуатации -40С +74С
- Коэффициент утечки по корпусу: 1×10-9 atm/sec He
- Коэффициент утечки по седлу: 4×10-8 atm/sec He
- Присоединение: VCR
- Шероховатость поверхности: Ra 15 μin (0,4 μn). Ra 10 μin (0,25 μn), Ra 7 μin (0,18 μn), Ra 5 μin (0,13 μn)
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)