Бокс газовый GENTEC серии VMB
Бокс газовый GENTEC серии VMB
Газовый бокс VMB для чистых и полупроводниковых газов предназначен для использования с газами высокой чистоты и сверхчистыми газами (UHP) 99,99 -99,99999. Конструкция газового бокса (шкафа) предусматривает наличие шкафа для установки VMP с регуляторами и запорными мембранными и пневматическими клапанами.
Преимущества:
- VCR соединение в конструкции VMB (valve manifold box)
- MFC и MFM опция
- Вытяжной патрубок для вентиляции
- Удаленный мониторинг состояния системы (RS485)
- Соединения при помощи орбитальной сварки
- Шероховатость поверхности 10 Ra и выше
- Производство и сборка по стандарту SEMI S2 по безопасности оборудования для производства полупроводников
- Сборка газового бокса в помещении класса 100
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L/Hastelloy
- Коэффициент утечки: 1×10-9 atm.cc/sec He
- Присоединение: VCR
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)
- Комплектация и количество каналов по запросу