Мембранные клапаны газовые GENTEC серии MDV86 для сверхчистых газов UHP
Мембранные клапаны газовые GENTEC серии MDV86 для сверхчистых газов UHP
Блок мембранных клапанов GENTEC серии MDV86 для использования с полупроводниковыми газами 7.0, а так же коррозионными газами и поверочными газовыми смесями (ПГС). Конструкция мембранного клапана MDV86 предусматривает уплотнение металл по металлу и полную внутреннюю полировку частей клапана. Наличие двух мембранных клапанов позволяет открывать и закрывать поток газа согласно конфигурации клапана. Конфигурация пневматический мембранный клапан UHP MDV86, позволяет автоматизировать процесс управления подачи газа.
Преимущества:
- Уплотнение металл по металлу
- Присоединение VCR, TW
- Маховик с индикатором положения закрыто/открыто
- Конфигурация пневматический мембранный клапан для чистых газов 99,99999 (7.0.)
- Класс помещения сборки 100
- Ra 10 μin (0,25 μn), Ra 7 μin (0,18 μn)
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L
- Максимальное давление на входе: 20,7, 241 бар
- Мембрана: Elgiloy
- Cv 0,3
- Температура эксплуатации: -40C +65C
- Коэффициент утечки по седлу: 1×10-9 atm.cc/sec He
- Коэффициент утечки по корпусу: 4×10-9 atm.cc/sec He
- Присоединение: VCR, TW
- Присоединение пневматического клапана: NPT1/8F
- Тип: NC, NO
- Давление открытия: 70, 125 psi
- Шероховатость поверхности: Ra 10 μin (0,25 μn), Ra 7 μin (0,18 μn)
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)