Мембранные клапаны газовые GENTEC серии DV87 для сверхчистых газов UHP
Мембранные клапаны газовые GENTEC серии DV87 для сверхчистых газов UHP
Мембранные клапаны газовые GENTEC серии DV87 для использования с полупроводниковыми газами 7.0, а так же коррозионными газами и поверочными газовыми смесями (ПГС). Конструкция мембранного клапана DV87 предусматривает уплотнение металл по металлу и полную внутреннюю полировку частей клапана. Конфигурация пневматический мембранный клапан UHP DV87, позволяет автоматизировать процесс управления подачи газа.
Преимущества:
- Уплотнение металл по металлу
- Присоединение VCR, TW
- Маховик с индикатором положения закрыто/открыто
- Конфигурация пневматический мембранный клапан для чистых газов 99,99999 (7.0.)
- Класс помещения сборки 100
Характеристики:
- Материал: Нержавеющая сталь 316L
- Максимальное давление на входе: 20,7 бар
- Максимальное давление на входе пневматический вентиль: 10,3 бар
- Мембрана: Elgiloy
- Cv 0,65
- Температура эксплуатации: -40С +65С
- Коэффициент утечки по седлу: 1×10-9 atm.cc/sec He
- Коэффициент утечки по корпусу: 4×10-9 atm.cc/sec He
- Присоединение: VCR, TW
- Присоединение пневматического клапана: M5
- Тип: NC, NO
- Давление открытия: 85 psi
- Шероховатость поверхности: Ra 7 μin (0,18 μn), Ra 5 μin (0,13 μn)
- Чистота газа: до 7.0. (99,99999)