Оборудование для сверхчистых газов UHP
Регуляторы давления, газовые боксы VMB, VMP, газобаллонные автоматизированные шкафы UHP для газов 99,99999, реле расхода, эжекторы вакуума, мембранные и пневматические клапаны, точки доступа POU, фитинги VCR (FSR), фитинги под приварку.
Доступны модели оборудования с двойной переплавкой VAR и различной шероховатостью поверхности.
При проектировании систем подачи сверхчистого газа UHP, мы применяем новейшие разработки для осуществления контроля и мониторинга рабочих параметров и производим оборудование по всем регламентам SEMI. Газобаллонные автоматизированный шкафы и газораспределительные боксы дополнительно оборудуются оборудованием: весы для контроля остаточного веса баллона, датчики UV/IR, датчиками контроля скорости в вентиляционном канале, газовые скрубберы для дезактивации, газовые детекторы и датчики контроля температуры. Использование газового оборудования GENTEC с такими газами как: SIH4, NH3, SIHCL3, CL2, SIH4, HCL, PH3, GeH4, BCL3, B2H6, HBR, SIH2CL2, AsH3, помогает решать различные задачи в полупроводниковой промышленности и осуществлять новые инновационные разработки.